[发明专利]一种掩模板及其加工方法无效
| 申请号： | 201210573283.X | 申请日： | 2012-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN103014619A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 唐军 | 申请（专利权）人： | 唐军;钱超 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 广州市南锋专利事务所有限公司 44228 | 代理人： | 张志醒 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种掩模板及其加工方法，所述掩模板包括ITO接触面和蒸镀面，在蒸镀面上设置有多个蒸镀孔，蒸镀孔自蒸镀面贯穿至ITO接触面，且截面呈阶梯状，蒸镀孔包括同轴设置的第一段和第二段，蒸镀孔的尺寸自所述第一段向第二段呈逐渐收缩状。本发明仅使用激光工艺来完成蒸镀孔的加工，省去了使用多种工艺加工蒸镀孔时需要的二次拆卸和装夹工序，也避免了使用多种工艺加工蒸镀孔所带来的安装误差，从而可有效提高蒸镀孔的加工精度和加工效率，降低掩模板的生产成本，从而降低了OLED显示屏的制造成本，具有广阔的市场前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 模板 及其 加工 方法 | ||
【主权项】：
一种掩模板，包括ITO接触面和蒸镀面，在所述蒸镀面上设置有多个蒸镀孔，所述蒸镀孔自所述蒸镀面贯穿至所述ITO接触面，且截面呈阶梯状，其特征在于：所述蒸镀孔包括同轴设置的第一段和第二段，所述蒸镀孔的尺寸自所述第一段向第二段呈逐渐收缩状。
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