[发明专利]薄膜晶体管有效
| 申请号： | 201210573691.5 | 申请日： | 2012-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN103904126A | 公开（公告）日： | 2014-07-02 |
| 发明（设计）人： | 曾坚信 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L29/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种薄膜晶体管，包括基板、设置在基板上的栅极、设置在基板上且覆盖栅极的栅绝缘层、覆盖在栅绝缘层表面的氧化铟镓锌沟道层、以及设置在沟道层表面的氧化镓锌层，该氧化镓锌层的相对两侧形成有源极和漏极。该种结构的薄膜晶体管具有表面漏电流低、电流开关比佳的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 | ||
【主权项】：
一种薄膜晶体管，包括基板、设置在基板上的栅极、设置在基板上且覆盖栅极的栅绝缘层以及覆盖在栅绝缘层表面的氧化铟镓锌沟道层，其特征在于：该薄膜晶体管还包括一设置在沟道层表面的氧化镓锌层，该氧化镓锌层的相对两侧形成有源极和漏极。
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