[发明专利]一种液晶显示面板及其制造方法有效
申请号: | 201210586237.3 | 申请日: | 2012-12-28 |
公开(公告)号: | CN103076703A | 公开(公告)日: | 2013-05-01 |
发明(设计)人: | 吴剑龙;洪孟逸 | 申请(专利权)人: | 南京中电熊猫液晶显示科技有限公司 |
主分类号: | G02F1/1362 | 分类号: | G02F1/1362;G02F1/1368;G02F1/1333;H01L21/77 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 210033 江苏省南京市仙林大道科*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供一种液晶显示面板及其制造方法,包括:位于衬底基板上的IGZO层、位于IGZO层上的源、漏极和像素电极、、位于源极和漏极之上且位于源极和漏极之间的栅极绝缘层、位于栅极绝缘层之上的栅极和与栅极连接的扫描线、位于栅极上的Al2O3绝缘层、位于Al2O3绝缘层之上的绝缘膜、以及位于最顶层的数据线。本发明采用自对齐顶栅结构的IGZO-TFT,并在形成IGZO-TFT的过程中,通过铺设Al膜层,经过在氧气环境中的高温反应使部分IGZO层反应形成源极和漏极,并同时将Al膜层反应成Al2O3绝缘层,一方面使液晶面板的寄生电容Cgd只有常规面板的1/5左右,减小回踢电压,以此减小存储电容,提高开口率;另一方面,将TFT面板的光罩数降低至4张,节约了成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 液晶显示 面板 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种液晶显示面板,其特征在于,包括:位于衬底基板上的IGZO层、位于IGZO层上的源、漏极和像素电极、位于源极和漏极之上且位于源极和漏极之间的栅极绝缘层、位于栅极绝缘层之上的栅极和与栅极连接的扫描线、位于栅极上的Al2O3绝缘层、位于Al2O3绝缘层之上的绝缘膜、以及位于最顶层的数据线。
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