[发明专利]锡锗砷合金靶材中锗、砷量的测定方法

摘要

本发明涉及一种锡锗砷合金靶材中锗、砷量的测定方法，采用电感耦合等离子体发射光谱法，包括：(1)样品用盐硝混酸低温溶解；(2)以去离子水稀释，摇匀；(3)设置等离子体原子发射光谱仪工作参数，功率为1.0～1.2Kw，雾化压力为46～55psi，最佳激发区在火炬12～18mm位置，选定锗265.2nm、砷193.695nm的谱线，点击“点火”按钮，形成稳定的等离子炬焰；(4)依次测定标准溶液，及样品溶液，在数据状态栏得出待测元素锗、砷的浓度值，根据待测元素百分含量的计算公式求得锗、砷元素百分含量。本发明准确度好，精密度高，操作简便快捷。

主权项

一种锡锗砷合金靶材中锗、砷量的测定方法，其特征在于，采用电感耦合等离子体发射光谱法测定锡锗砷合金靶材中的锗、砷量，包括如下步骤：A.样品的溶解：于90～150℃，将锡锗砷合金靶材待测样品用体积比为1:2~3的浓硝酸‑浓盐酸混酸溶解，配成浓度为0.001‑0.01g/ml的样品溶液；B.设置等离子体原子发射光谱仪工作参数，功率为1.0～1.2Kw，雾化压力为46～55psi，最佳激发区在火炬12～18mm位置，选定锗265.2nm、砷193.695nm的谱线；点火后形成稳定的等离子炬焰；C.依次测定标准曲线溶液及样品溶液，在数据状态栏得出待测元素锗、砷的浓度值，根据待测元素百分含量的计算公式求得锗、砷元素百分含量。