[发明专利]一种掩膜板有效
| 申请号： | 201210594652.3 | 申请日： | 2012-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN103911584B | 公开（公告）日： | 2017-07-04 |
| 发明（设计）人： | 毕德锋;叶添昇 | 申请（专利权）人： | 上海天马微电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C16/04 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201201 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种掩膜板结构及其制造方法。所述掩膜板包括第一区域和第二区域，所述第一区域用于定位，在第一区域内背向衬底的一侧，所述掩膜板边缘与掩膜板框架（或支架）焊接定位处设置有第二凹槽，所述第二凹槽内可容纳一个或多个焊接定位装置；所述第二区域又包含遮挡部分和开口部分，所述开口部分与遮挡部分间隔均匀平行排列，在所述遮挡部分面向衬底的一侧设置有第一凹槽，所述第一凹槽在纵向或横向平行于所述开口部分。本发明同时还公开了一种将所述第一凹槽、第二凹槽设置在掩膜板上的制程方法，采用湿法蚀刻法。本发明的掩膜板结构具有质量轻、强度好、减少衬底损伤等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜板 | ||
【主权项】：
一种掩膜板，包含第一区域和第二区域，所述第一区域围绕所述第二区域四周设置；所述第二区域又包含遮挡部分和开口部分，所述开口部分与所述遮挡部分间隔排列，其特征在于：所述第二区域的遮挡部分面向衬底的一侧设置有第一凹槽，其中，所述第一凹槽的深度为15微米至20微米；所述第一区域内背向衬底的一侧的焊接定位处设置有第二凹槽，用于容纳焊点。
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