[实用新型]一种PECVD设备及应用于PECVD设备的反应腔内的密封件有效
| 申请号： | 201220014171.6 | 申请日： | 2012-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN202405227U | 公开（公告）日： | 2012-08-29 |
| 发明（设计）人： | 凌鸿锋;杨宁同 | 申请（专利权）人： | 无锡尚德太阳能电力有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京金信立方知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 黄威;郭迎侠 |
| 地址： | 214028 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种PECVD设备及应用于PECVD设备的反应腔内的密封件，所述密封件为圆盘形，所述密封件的中心设有一贯通的中心孔，所述密封件上还设置有多个贯通的通风孔，所述通风孔的直径小于所述中心孔。本实用新型的应用于PECVD设备的反应腔内的密封件可以在提供给石英管适当的冷却通风量的基础上，避免铜天线因误插入通风孔后而造成的接触不良，进而导致设备损坏的情况发生。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 pecvd 设备 应用于 反应 密封件 | ||
【主权项】：
一种应用于PECVD设备的反应腔内的密封件，所述密封件为圆盘形，所述密封件的中心设有一贯通的中心孔，所述密封件上还设置有多个贯通的通风孔，其特征在于，所述通风孔的直径不同于所述中心孔的直径。
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