[实用新型]多晶硅太阳能光伏电池硅片的扩散用进气管路有效
| 申请号： | 201220041639.0 | 申请日： | 2012-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN202519366U | 公开（公告）日： | 2012-11-07 |
| 发明（设计）人： | 宋令枝;吴胜勇;吕加先;张涌 | 申请（专利权）人： | 苏州盛康光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/16 | 分类号： | C30B31/16;H01L31/18 |
| 代理公司： | 江阴市同盛专利事务所 32210 | 代理人： | 唐纫兰;曾丹 |
| 地址： | 215600 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种多晶硅太阳能光伏电池硅片的扩散用进气管路，其特征在于所述进气管路包括进气主管路（1），所述进气主管路（1）的前端与管式扩散炉（2）的进气端连接，所述进气主管路（1）的后端连接有氧气进气管路（3）和大氮进气管路（4），所述进气主管路（1）的中间通过磷源管路（5）连接有磷源瓶（6），所述磷源瓶（6）上连接有小氮进气管路（7）。本实用新型多晶硅太阳能光伏电池硅片的扩散用进气管路，大氮进气管路设置于磷源管路的后端，大氮可以迅速将磷源带入管式扩散炉的炉管，从而提高了磷源利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 太阳能 电池 硅片 扩散 用进气 管路 | ||
【主权项】：
一种多晶硅太阳能光伏电池硅片的扩散用进气管路，其特征在于所述进气管路包括进气主管路（1），所述进气主管路（1）的前端与管式扩散炉（2）的进气端连接，所述进气主管路（1）的后端连接有氧气进气管路（3）和大氮进气管路（4），所述进气主管路（1）的中间通过磷源管路（5）连接有磷源瓶（6），所述磷源瓶（6）上连接有小氮进气管路（7）。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州盛康光伏科技有限公司，未经苏州盛康光伏科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201220041639.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种氟材料均匀挤出纺丝的模具
- 下一篇：一种用于离子液体电沉积的电解池
