[实用新型]一种用于多晶硅铸锭炉的进气排杂装置有效
| 申请号： | 201220047131.1 | 申请日： | 2012-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN202626351U | 公开（公告）日： | 2012-12-26 |
| 发明（设计）人： | 游达;吴义华;黄春来;周声浪;权祥 | 申请（专利权）人： | 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 何平 |
| 地址： | 221004 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种用于多晶硅铸锭炉的进气排杂装置，该铸锭炉内设有护板，该进气排杂装置设置在该护板上方，并与护板之间设有出气口，该进气排杂装置包括进气管及将从进气管进来的气体进行分流的分流组件，该进气管与分流组件相连。分流组件将气流分散，从而减弱对硅液表面的冲击，同时分散的气流不容易在铸锭炉内形成循环气流，从而减少气体在坩埚、护板及盖板组成的结构中停留的时间，使气体能够尽快排出，减少含碳气体流经硅液表面时被吸附及溶入硅液的碳含量。这样，生长出来的硅锭就会有较高的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 多晶 铸锭 进气排杂 装置 | ||
【主权项】：
一种用于多晶硅铸锭炉的进气排杂装置，其特征在于，所述进气排杂装置包括进气管及将从进气管进来的气体进行分流的分流组件，所述进气管与所述分流组件相连。
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