[实用新型]一种液态源的汽化装置有效
| 申请号： | 201220066944.5 | 申请日： | 2012-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN202452106U | 公开（公告）日： | 2012-09-26 |
| 发明（设计）人： | 李东升;龚小雷;缪南山;张敏 | 申请（专利权）人： | 上海正帆科技有限公司;上海正帆半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | F17C7/04 | 分类号： | F17C7/04 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 翁若莹 |
| 地址： | 201108 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种液态源的汽化装置，其特征在于，汽化装置上还设有液位计及加热器，所述液位计包括液位计套管，液位计套管内设有液位计内芯，液位计内芯的上端从液位计套管中露出，液位计套管的上端密封，浮球通过卡簧套于液位计套管外，置于1-100％中的任意液位区间；所述加热器包括加热器套管，加热器套管内设有加热器内芯，加热器内芯的上端从加热器套管中露出，加热器套管的上端密封。本实用新型在现有汽化装置的基础上，改变了液位计和加热器的应用形式，配置的液位计内芯和加热器内芯可根据需要更换材质和规格，使系统压力、液位、温度控制的可操作性更强，装置维护更便利，液态源在汽化过程中的安全稳定性和应用范围、灵活性得到大幅度改善。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 液态 汽化 装置 | ||
【主权项】：
一种液态源的汽化装置，其特征在于，汽化装置(1)上还设有液位计及加热器，所述液位计包括液位计套管(1)，液位计套管(2)内设有液位计内芯(3)，液位计内芯(3)的上端从液位计套管(2)中露出，液位计套管(2)的上端密封，浮球通过卡簧套于液位计套管外，置于1‑100％中的任意液位区间；所述加热器包括加热器套管(6)，加热器套管(6)内设有加热器内芯(7)，加热器内芯(7)的上端从加热器套管(6)中露出，加热器套管(6)的上端密封。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海正帆科技有限公司;上海正帆半导体设备有限公司，未经上海正帆科技有限公司;上海正帆半导体设备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201220066944.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
