[实用新型]直立式电浆产生装置

摘要

本实用新型公开了一种直立式电浆产生装置，可提供均温效果，其主要包括：一第一腔体；至少两个第二腔体；一第一加热组件；一第二加热组件；至少两个电极板；以及至少一射频电流源。通过加热组件的适当配置，电浆产生装置可达到均匀加热的功效，进而提升制程稳定度。

主权项

直立式电浆产生装置，包括：一第一腔体，该第一腔体的外表面电性接地，且具有一第一进气口及一第一出气口，其中第一进气口用以通入制程气体，第一出气口则用以排出制程气体；至少两个第二腔体，配置于第一腔体的内部，其具有一第二进气口及一第二出气口，其中第二进气口通过第一进气口引入制程气体，第二出气口则通过第一出气口排出制程气体；一第一加热组件，配置于第一腔体与第二腔体之间，用以加热该些第二腔体的一第一表面；一第二加热组件，配置于该第一腔体与该些第二腔体之间，用以加热第二腔体的一第二表面；至少两个电极板，配置于第二腔体的内部，用以呈载至少一制程基板；以及至少一射频电流源，设置于第一腔体外部，电性连接电极板，用以提供一射频电流以产生电浆于第二腔体内；其中，第一加热组件与第二加热组件的表面温度可达到1000℃，由至少两条条状加热丝所形成；条状加热丝弯折。