[实用新型]一种偏置平板调整装置有效
| 申请号： | 201220089822.8 | 申请日： | 2012-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN202533713U | 公开（公告）日： | 2012-11-14 |
| 发明（设计）人： | 鲁武旺;李志丹;王成才;章富平 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种偏置平板调整装置，设于调焦调平主框架板上用于调整偏置平板的角度，所述偏置平板调整装置包括旋转轴系和驱动机构，所述旋转轴系和驱动机构分别设置于所述调焦调平主框架板上，所述驱动机构包括一楔形块，所述楔形块设置于所述旋转轴系上。本实用新型可以有效减少对电机的精度要求。另外，通过将角度传感器安装在旋转轴系上，可以减少由于驱动机构间隙和零件加工等因素引入的误差，从而得到更精确的位置精度。另通过用于锁定所述旋转轴系的制动装置，当所述偏置平板到达设定的位置时，制动器件将制动轴锁定，从而将所述旋转轴系及偏置平板锁定。此时可以切断电机电源，从而，减少电机发热对整机的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 偏置 平板 调整 装置 | ||
【主权项】：
一种偏置平板调整装置，设于调焦调平主框架板上用于调整偏置平板的角度，所述偏置平板调整装置包括旋转轴系和驱动机构，所述旋转轴系和驱动机构分别设置于所述调焦调平主框架板上，其特征在于，所述驱动机构包括一楔形块，所述楔形块设置于所述旋转轴系上。
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