[实用新型]一种抗冲击压力传感器有效
| 申请号： | 201220092800.7 | 申请日： | 2012-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN202582797U | 公开（公告）日： | 2012-12-05 |
| 发明（设计）人： | 杨汇鑫 | 申请（专利权）人： | 东莞市五峰科技有限公司;湛江市科海科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14;B81B7/00 |
| 代理公司： | 东莞市华南专利商标事务所有限公司 44215 | 代理人： | 刘克宽 |
| 地址： | 523808 广东省东莞市松山湖产业*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及传感器技术领域，尤其涉及一种抗冲击压力传感器，其结构包括有基板、悬臂梁、电极和绝缘层，绝缘层设置于基板，电极设置于绝缘层，悬臂梁的一端设置于电极，悬臂梁的另一端悬空，悬臂梁长度设置为小于或等于50微米，悬臂梁悬空部分的长度设置为小于或等于10微米。现有技术的悬臂梁长度一般为50至200微米，但抗高振动冲击能力差，本实用新型通过缩短悬臂梁的长度和悬臂梁悬空部分的长度以提高抗高振动冲击的能力，有效地解决了基于悬臂梁的传感器易受振动冲击损坏的缺点，扩大了传感器的应用范围，传感器结构简单，生产成本低，制造工艺简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 冲击 压力传感器 | ||
【主权项】：
一种抗冲击压力传感器，包括有基板、悬臂梁、电极和绝缘层，所述绝缘层设置于所述基板，所述电极设置于所述绝缘层，所述悬臂梁的一端设置于所述电极，所述悬臂梁的另一端悬空，其特征在于：所述悬臂梁长度设置为小于或等于50微米，所述悬臂梁悬空部分的长度设置为小于或等于10微米。
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