[实用新型]为掩模版贴附保护膜的装置

摘要

本实用新型提供了一种为掩模版贴附保护膜的装置，包括：用于安装保护膜的出膜轴、用于平整拉平保护膜并能够将其贴附到掩膜版上的贴膜辊轴、以及用于驱动出膜轴和贴膜辊轴运转的驱动装置，出膜轴和贴膜辊轴之间由保护膜连接。本实用新型所述为掩模版贴附保护膜的装置，通过设置出膜轴、贴膜辊轴、以及驱动装置，使得保护膜可以自动贴附到掩膜版上。克服了背景技术中所述手工贴附保鲜膜时不易操作且容易在保鲜膜和掩膜版之间形成气泡的弊端。又由于本实用新型所述装置贴附的保护膜是保护膜，克服了背景技术中所述贴附保鲜膜的弊端。

主权项

一种为掩模版贴附保护膜的装置，其特征在于，包括：用于安装保护膜的出膜轴、用于平整扯拽保护膜并能够将其贴附到掩膜版上的贴膜辊轴、以及用于驱动出膜轴和贴膜辊轴运转的驱动装置，出膜轴和贴膜辊轴之间由保护膜连接。