[实用新型]一种膜厚测量装置

摘要

本实用新型公开了一种膜厚测量装置，包括：机台，分别安装在机台两对焦灯固定轴端部的上对焦灯和下对焦灯；两对焦灯相对设置，并分别位于待测膜所在产线的上下两侧；上对焦灯还连接有CCD；下对焦灯上方设置有可移动的反射拨片。本实用新型中，反射拨片为铝制金属片，由支撑架支撑和移动，以反射透过待测膜的光，进行基板下方膜厚测量；铝制反射拨片，表面光滑，反射率高，价格便宜；反射拨片位置可调，在不进行膜厚测量时，可将其调至不影响机台工作的位置，提高机台空间利用率；该装置同时还能对基板上方膜厚进行测量，实时监测产线的生产工艺流程，及时发现生产产品中的不良，提高生产效率。

主权项

一种膜厚测量装置，包括：机台，分别安装在机台的两个对焦灯固定轴端部的上对焦灯和下对焦灯；所述上对焦灯和下对焦灯相对设置，并分别位于待测膜所在产线的上下两侧；所述上对焦灯还连接有CCD；其特征在于，所述下对焦灯上方设置有可移动的反射拨片。