[实用新型]真空蒸发镀膜用的电接触结构有效
申请号: | 201220129970.8 | 申请日: | 2012-03-31 |
公开(公告)号: | CN202595249U | 公开(公告)日: | 2012-12-12 |
发明(设计)人: | 赵铭 | 申请(专利权)人: | 广东友通工业有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 东莞市创益专利事务所 44249 | 代理人: | 李卫平 |
地址: | 523000 广东省东莞*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型涉及真空镀膜技术领域,尤其是涉及真空蒸发镀膜用的电接触结构,包括可相互对接导通的第一接触板和第二接触板,所述第一接触板固定安装在大门组件上;所述第二接触板安装在一气缸的伸缩端上,气缸固定在真空室组件上;所述气缸的伸缩轴外端轴向组设一绝缘柱,绝缘柱的外端固定第二接触板及一导电压板,导电压板与第二接触板紧贴在一起。本实用新型采用气缸驱动接触板接触工作,达到自动化控制,智能性高,工作稳定,能满足生产的需要,且确保生产的稳定性和质量;结构简单,科学合理,投资成本低,大大提高了真空蒸发镀膜机的运行率和可操作性,体积小巧,安装、使用方便。 | ||
搜索关键词: | 真空 蒸发 镀膜 接触 结构 | ||
【主权项】:
真空蒸发镀膜用的电接触结构,包括可相互对接导通的第一接触板(1)和第二接触板(2),其特征在于:第一接触板(1)固定安装在大门组件(3)上;所述第二接触板(2)安装在一气缸(4)的伸缩端上,气缸(4)固定在真空室组件(5)上。
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