[实用新型]真空蒸发镀膜用的电接触结构有效

专利信息
申请号: 201220129970.8 申请日: 2012-03-31
公开(公告)号: CN202595249U 公开(公告)日: 2012-12-12
发明(设计)人: 赵铭 申请(专利权)人: 广东友通工业有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24
代理公司: 东莞市创益专利事务所 44249 代理人: 李卫平
地址: 523000 广东省东莞*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型涉及真空镀膜技术领域,尤其是涉及真空蒸发镀膜用的电接触结构,包括可相互对接导通的第一接触板和第二接触板,所述第一接触板固定安装在大门组件上;所述第二接触板安装在一气缸的伸缩端上,气缸固定在真空室组件上;所述气缸的伸缩轴外端轴向组设一绝缘柱,绝缘柱的外端固定第二接触板及一导电压板,导电压板与第二接触板紧贴在一起。本实用新型采用气缸驱动接触板接触工作,达到自动化控制,智能性高,工作稳定,能满足生产的需要,且确保生产的稳定性和质量;结构简单,科学合理,投资成本低,大大提高了真空蒸发镀膜机的运行率和可操作性,体积小巧,安装、使用方便。
搜索关键词: 真空 蒸发 镀膜 接触 结构
【主权项】:
真空蒸发镀膜用的电接触结构,包括可相互对接导通的第一接触板(1)和第二接触板(2),其特征在于:第一接触板(1)固定安装在大门组件(3)上;所述第二接触板(2)安装在一气缸(4)的伸缩端上,气缸(4)固定在真空室组件(5)上。
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