[实用新型]平面测量补偿装置有效
| 申请号： | 201220145190.2 | 申请日： | 2012-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN202501833U | 公开（公告）日： | 2012-10-24 |
| 发明（设计）人： | 张祚;陈启沛;梁坤 | 申请（专利权）人： | 广州翔天智能科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30;G01B7/34 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 杨晓松 |
| 地址： | 510610 广东省广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型平面测量补偿装置，包括音圈电机、运动平台、测量传感器、音圈电机伺服驱动器和控制器，所述音圈电机设置于运动平台上；所述测量传感器与音圈电机伺服驱动器连接，测量传感器固定连接于运动平台上；所述控制器与音圈电机伺服驱动器信号连接。本实用新型平面测量补偿装置利用了音圈伺服力矩可控的特性，将音圈电机用于平面校正，并对不平整的工作台面进行补偿，不仅大大减小了台面的不确定性，提高了机器的精度，还降低了设备厂的维护成本，方便了使用者。 | ||
| 搜索关键词： | 平面 测量 补偿 装置 | ||
【主权项】：
平面测量补偿装置，其特征在于：该装置包括音圈电机、运动平台、测量传感器、音圈电机伺服驱动器和控制器，所述音圈电机设置于运动平台上；所述测量传感器与音圈电机伺服驱动器连接，测量传感器固定连接于运动平台上；所述控制器与音圈电机伺服驱动器信号连接。
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