[实用新型]一种PECVD的沉积装置及其沉积槽用锁紧装置

摘要

本实用新型提供了一种PECVD的沉积槽用锁紧装置，用于将沉积槽固定于托架上，该锁紧装置包括：第一锁件；和用于贯穿沉积槽的侧壁的第二锁件，第二锁件包括用于与托架固定相连的固定端和用于外伸于沉积槽的自由端，第二锁件的自由端开设有用于夹住第一锁件的紧固槽。本实用新型提供的PECVD的沉积槽用锁紧装置，拆卸和安装沉积槽的过程较简单、快捷，与现有技术将多个螺丝和螺母拆除和安装相比，减少了工作人员的工作量，进而减少了拆卸和安装沉积槽所需的时间，提高了工作效率。本实用新型还提供了一种具有上述PECVD的沉积槽用锁紧装置的PECVD的沉积装置。

主权项

一种PECVD的沉积槽用锁紧装置，用于将所述沉积槽(7)固定于托架(2)上，其特征在于，包括：第一锁件(6)；和用于贯穿所述沉积槽(7)的侧壁的第二锁件(4)，所述第二锁件(4)包括用于与所述托架(2)固定相连的固定端和用于外伸于所述沉积槽(7)的自由端，所述第二锁件(4)的自由端开设有用于夹住所述第一锁件(6)的紧固槽(41)。