[实用新型]超高纯气体中微量杂质分析的气相色谱检测系统有效
| 申请号： | 201220167207.4 | 申请日： | 2012-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN202548108U | 公开（公告）日： | 2012-11-21 |
| 发明（设计）人： | 李聪 | 申请（专利权）人： | 杭州克柔姆色谱科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N30/88 | 分类号： | G01N30/88 |
| 代理公司： | 浙江永鼎律师事务所 33233 | 代理人： | 王梨华;陈丽霞 |
| 地址： | 310012 浙江省杭州市西湖区*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及气相色谱仪检测设备，尤其涉及超高纯气体中微量杂质分析的气相色谱检测系统，包括色谱柱箱以及信号采集处理器，尾气处理器，色谱柱箱包括切换阀VⅠ（1）与切换阀VⅡ（2）之间设有第一分子筛色谱柱（51）；切换阀VⅡ（2）与切换阀VⅣ（4）之间设有第二分子筛色谱柱（52）；切换阀VⅢ（3）与切换阀VⅣ（4）之间设有第二柱子分离器（62）。本实用新型通过各阀对应一个外部事件来控制，其动作的阶次也由事件编制程序执行，这样整体分析过程自动化控制，动作快速一致可靠，系统的数据重复性与准确性由稳定的流量气路和准确无误的阀切换来保证。 | ||
| 搜索关键词： | 高纯 气体 微量 杂质 分析 色谱 检测 系统 | ||
【主权项】：
超高纯气体中微量杂质分析的气相色谱检测系统，包括色谱柱箱以及信号采集处理器，尾气处理器，色谱柱箱包括载1、载2、载3、载4气路，切换阀VⅠ（1）以及切换阀VⅡ（2）、切换阀VⅢ（3）和切换阀VⅣ（4），其特征在于：切换阀VⅠ（1）与切换阀VⅡ（2）之间设有第一分子筛色谱柱（51）；切换阀VⅡ（2）与切换阀VⅣ（4）之间设有第二分子筛色谱柱（52）；切换阀VⅠ（1）与切换阀VⅢ（3）之间设有针阀（9），切换阀VⅢ（3）与切换阀VⅣ（4）之间设有第二柱子分离器（62）。
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