[实用新型]防静电光罩运输装置

摘要

本实用新型涉及半导体运输设备，尤其涉及一种用于洁净室的移动式防静电光罩运输装置，包括带有车轮及扶手的车体、光罩放置盒、挡板、电源接口、指示灯以及去离子装置，所述去离子装置采用若干去离子风机，所述去离子风机设于所述车体的顶部，所述光罩放置盒设于所述车体内部，所述挡板设于所述光罩放置盒外侧并与所述车体连接。本实用新型采用吹风式去离子方法，环境适应性强，离子发生量大，除静电速度快，实现装置内部全方位去离子效果，以确保在运输光罩经过没有进行静电防护的区域时光罩不被静电损坏。

主权项

一种防静电光罩运输装置，包括带有车轮及扶手的车体、光罩放置盒、挡板、电源接口、指示灯以及去离子装置，其特征在于，所述去离子装置采用若干去离子风机，所述去离子风机设于所述车体的顶部，所述光罩放置盒设于所述车体内部，所述挡板设于所述光罩放置盒外侧并与所述车体连接。