[实用新型]一种用于太阳能电池扩散设备的送片机构有效
| 申请号： | 201220205577.2 | 申请日： | 2012-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN202585372U | 公开（公告）日： | 2012-12-05 |
| 发明（设计）人： | 李克;刘良玉;吕文利 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于太阳能电池扩散设备的送片机构，为了解决现有送片机构送片后仍然留在石英管内，易造成污染以及大产量时送片机构下垂的问题，所述用于太阳能电池扩散设备的送片机构包括用于水平传送石英舟的推舟底板部件和用于竖向传送石英舟的推舟机构。本实用新型简化了送片机构，大大降低了人工成本与设备成本，能够在设备装片后实现悬臂桨对下垂量角度的补充，提高了设备的稳定性，有利于提高了太阳能电池生产线自动化程度和生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 太阳能电池 扩散 设备 机构 | ||
【主权项】：
一种用于太阳能电池扩散设备的送片机构，其特征是，包括用于水平传送石英舟（4）的推舟底板部件和用于竖向传送石英舟（4）的推舟机构。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
