[实用新型]一种输送硅片的吸盘装置有效
| 申请号： | 201220259180.1 | 申请日： | 2012-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN202640363U | 公开（公告）日： | 2013-01-02 |
| 发明（设计）人： | 孙明祥 | 申请（专利权）人： | 浙江好亚能源股份有限公司 |
| 主分类号： | B25J11/00 | 分类号： | B25J11/00;B25J15/06 |
| 代理公司： | 杭州浙科专利事务所(普通合伙) 33213 | 代理人： | 吴秉中 |
| 地址： | 314413 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型属于机械领域，具体为一种输送硅片的吸盘装置。包括吸盘固定座和设置在吸盘固定座上的升降机构，所述的吸盘固定座下方设置三个吸盘脚，吸盘脚底部设置吸盘，所述的吸盘脚为中空结构，吸盘通过吸盘脚的中空结构与吸盘固定座上方的吸气管相连；所述的吸气管与真空泵相连，真空泵和升降机构分别与PLC控制器相连。本实用新型在吸盘固定座下方设置三只吸盘脚，并且吸盘脚的高度可调节，因此，能够方便地使硅片与吸盘调节在同一水平面上，使之在吸合移动过程中稳定地吸住硅片，保证了硅片在移动过程中的安全性；将该吸盘装置用于硅片的自动装片设备上，能够既安全又快速的完成硅片的自动装片。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 输送 硅片 吸盘 装置 | ||
【主权项】：
一种输送硅片的吸盘装置，包括吸盘固定座和设置在吸盘固定座上的升降机构，其特征在于所述的吸盘固定座下方设置三个吸盘脚，吸盘脚底部设置吸盘，所述的吸盘脚为中空结构，吸盘通过吸盘脚的中空结构与吸盘固定座上方的吸气管相连；所述的吸气管与真空泵相连，真空泵和升降机构分别与PLC控制器相连。
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