[实用新型]一种用于真空系统的多功能监测仪有效
| 申请号： | 201220327481.3 | 申请日： | 2012-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN202693563U | 公开（公告）日： | 2013-01-23 |
| 发明（设计）人： | 闫凌昊;郇庆;武荣庭;高鸿钧 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00;G01N27/62;G01M3/34 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人： | 蔡民军 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种用于真空系统的多功能监测仪，包括真空腔(1)和抽真空装置(2)。真空腔(1)适于维持内部的真空，抽真空装置(2)与真空腔(1)密封连接并且能够对真空腔(1)内部进行抽真空。其中，该多功能监测仪还包括：适于连接真空系统的监测口(6)，该监测口(6)通过真空阀门(28)密封连接真空腔(1)；残余气体分析装置(4)，该残余气体分析装置(4)包含四级质谱仪，该四极质谱仪密封连接真空腔(1)并且能够监测三种以上的气体；储藏室(5)，该储藏室通过真空阀门(20)密封连接真空腔(1)并且能够储存样品。本实用新型具有功能多样，结构简单，体积较小，能够移动，各部件利用率高的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 真空 系统 多功能 监测 | ||
【主权项】：
一种用于真空系统的多功能监测仪，包括真空腔(1)和抽真空装置(2)，该真空腔(1)适于维持内部的真空，该抽真空装置(2)与该真空腔(1)密封连接并且能够对该真空腔(1)内部进行抽真空，其特征是，该多功能监测仪还包括：适于连接该真空系统的监测口(6)，该监测口(6)通过真空阀门(28)密封连接该真空腔(1)；残余气体分析装置(4)，该残余气体分析装置(4)包含四级质谱仪，该四极质谱仪密封连接该真空腔(1)并且能够监测三种以上的气体；储藏室(5)，该储藏室通过真空阀门(20)密封连接该真空腔(1)并且能够储存样品。
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