[实用新型]一种具有喷雾功能的湿法刻蚀机

摘要

本实用新型属于晶体硅太阳能电池片湿法刻蚀生产制造领域，具体涉及一种具有喷雾功能的湿法刻蚀机。湿法刻蚀机包括刻蚀机台和设置于刻蚀机台上用于传送硅片的滚轮，所述刻蚀机台上方设置有喷水装置，所述刻蚀机台上方位于喷水装置与硅片传送方向相反的一侧设置有喷雾装置，所述喷雾装置喷出的雾滴覆盖硅片表面。所述喷雾装置包括连接板和设置于连接板上的喷头。硅片在刻蚀机台上经滚轮传送过程中，先经过喷雾装置，对硅片表面进行喷淋雾滴，雾滴附着在硅片表面，再经喷水装置喷淋水膜，利用雾状液滴对硅片表面有较强吸附力，以及雾滴可以降低水流在硅片表面张力的原理，可以使水膜在硅片表面完全覆盖。

主权项

一种具有喷雾功能的湿法刻蚀机，所述湿法刻蚀机包括刻蚀机台和设置于刻蚀机台上用于传送硅片（1）的滚轮（2），所述刻蚀机台上方设置有喷水装置（3），其特征在于：所述刻蚀机台上方位于喷水装置（3）与硅片（1）传送方向相反的一侧设置有喷雾装置（4），所述喷雾装置（4）喷出的雾滴覆盖硅片（1）表面。