[实用新型]晶圆检测装置和晶圆定位装置

摘要

本实用新型提出一种晶圆检测和晶圆定位装置包括检测台；移动平台，平放在检测台上表面；目检显微镜，位于移动平台的上方；两个传感器，分别固定在检测台相邻的两侧表面；中央控制单元，与两个传感器相连。移动平台使晶圆移动，用目检显微镜找到固定在晶圆上的三个方块，同时通过两个传感器监控移动平台的移动距离，从而获得三个方块的相对位置，中央控制单元将已有晶圆的CP图谱的格式转化为目检显微镜能直接读取的格式，并根据传感器的数据将三个方块的位置与已有晶圆的CP图谱中位置进行对准，从而达到晶圆物理图谱与CP图谱匹配，进而缩短人工手动对准的时间，提高晶圆目检和晶圆定位的效率。

主权项

一种晶圆检测装置，其特征在于，包括：一检测台；一移动平台，平放在所述检测台上表面；一目检显微镜，位于所述移动平台的上方；两个传感器，分别固定在所述检测台相邻的两侧表面；一中央控制单元，与所述两个传感器相连。