[实用新型]一种PECVD射频电极接头

摘要

本实用新型公开了一种PECVD射频电极接头，通过在电极接口内壁嵌设有定位滚珠，在使用时只需要移动电极接口滑动座，待电极插口的接头结构插入到电极接口的插槽结构中，利用弹簧的回复力，促使电极接口滑动座往回滑动直至被电极插口的底座结构抵住，同时压迫定位滚珠进入到电极插口外壁上的第二凹槽中并与之夹紧，从而实现对电极接口和电极插口的定位，完成PECVD射频电极接头的连接；该装置在固定电极接头的同时保证电极接口与电极插口金属外套管有良好接触，能够提高射频电极接地连接稳定性及Si基薄膜太阳电池生产效率。

主权项

一种PECVD射频电极接头，其特征在于，包括：电极接口，所述电极接口包括具有插槽结构的电极接口本体（11），所述电极接口本体（11）的内壁嵌设有定位滚珠（14），所述电极接口本体（11）的外壁上套设有电极接口滑动座（12），所述电极接口滑动座（12）上开设有用于同所述定位滚珠（14）配合的第一凹槽，且所述电极接口滑动座（12）的一侧通过弹簧（16）连接于所述电极接口本体（1），所述弹簧（16）能够提供沿轴向远离所述插槽的槽底方向的回复力；电极插口，包括具有用于同所述插槽结构配合的插头结构的电极插口本体（19），所述电极插口本体（19）还具有用于同所述电极接口滑动座（12）与所述弹簧（16）相对一侧相抵的底座结构，且所述插头结构的外壁上开设有用于同所述定位滚珠（14）配合的第二凹槽。