[实用新型]用于抽取蚀刻液回收系统中的气体的装置有效

专利信息
申请号: 201220409033.8 申请日: 2012-08-17
公开(公告)号: CN202715604U 公开(公告)日: 2013-02-06
发明(设计)人: 韦建敏;赵兴文;张小波;吴圣杰 申请(专利权)人: 成都虹华环保科技有限公司
主分类号: B08B15/04 分类号: B08B15/04;C23F1/46
代理公司: 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 代理人: 廖曾
地址: 610000 四*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 实用新型公开了一种用于抽取蚀刻液回收系统中的气体的装置,包括内部中空的壳体,所述壳体内部设置有旋转叶片,壳体下方设置有支撑装置,壳体连接有电机,电机与旋转叶片连接,所述壳体设置有与其内部相通的进风口和出风口,且出风口设置在进风口的上方。该装置的结构简单,功率大,能够加快箱体中气体的流通量,将挥发的蚀刻液气体抽取出来,到固定的处理工序,避免了气体挥发到大气中,产生大气污染,对人体产生危害。
搜索关键词: 用于 抽取 蚀刻 回收 系统 中的 气体 装置
【主权项】:
用于抽取蚀刻液回收系统中的气体的装置,其特征在于:包括内部中空的壳体,所述壳体内部设置有旋转叶片(6),壳体下方设置有支撑装置(9),壳体连接有电机(10),电机(10)与旋转叶片(6)连接,所述壳体设置有与其内部相通的进风口(8)和出风口(1),且出风口(1)设置在进风口(8)的上方。
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