[实用新型]一种基板清洗装置

摘要

本实用新型公开了一种涉及半导体清洗设备技术领域，特别是涉及一种涡轮式液刷混合作用的基板清洗装置，包括滚刷主体和驱动所述滚刷主体旋转的驱动装置，所述滚刷主体外表面具有刷毛，所述滚刷主体还具有：液体流动腔室，位于所述滚刷主体内部，所述液体流动腔室具有至少一个进液口；至少一个喷射通道，内端开口位于所述液体流动腔室内壁，外端开口位于所述滚刷主体外表面。上述基板清洗装置，在使用过程中，滚刷主体转动，液体通过进液口进入液体流动腔室内，并通过喷射通道喷出，可以使液体呈曲线尽可能的喷淋到毛刷与基板的接触点。所以，本实用新型提供的基板清洗装置使刷毛能够实现自清洁。

主权项

一种基板清洗装置，包括滚刷主体和驱动所述滚刷主体旋转的驱动装置，所述滚刷主体外表面具有刷毛，其特征在于，所述滚刷主体还具有： 液体流动腔室，位于所述滚刷主体内部，所述液体流动腔室贯穿所述滚刷主体的长度方向，所述液体流动腔室具有两个进液口，分别位于所述滚刷主体的两个端面； 每一个所述进液口处设有转动时将液体吸入所述液体流动腔室内的半开式叶轮，所述叶轮包括多个叶片和一个端盖，其中每一个所述叶片的一端固定于所述端盖，且每一个所述叶片与所述滚刷主体之间相对固定； 至少一个喷射通道，内端开口位于所述液体流动腔室内壁，外端开口位于所述滚刷主体外表面。