[实用新型]硅芯棒组件和多晶硅还原炉有效
申请号: | 201220427566.9 | 申请日: | 2012-08-27 |
公开(公告)号: | CN202766303U | 公开(公告)日: | 2013-03-06 |
发明(设计)人: | 倪海江;潘宏启;李海军;陈文明;陈其顺 | 申请(专利权)人: | 包头市山晟新能源有限责任公司 |
主分类号: | C01B33/035 | 分类号: | C01B33/035 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 赵根喜;冯志云 |
地址: | 014105 内蒙古自*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种硅芯棒组件及一种多晶硅还原炉,该硅芯棒组件用以设置在多晶硅还原炉中沉积多晶硅,该硅芯棒组件包括竖立安装的两根立棒和连接所述两根立棒的一根横棒,所述横棒的两端分别榫接在所述两根立棒的顶端。本实用新型的硅芯棒组件,连接牢固可靠,接触好,而且安装快捷。 | ||
搜索关键词: | 硅芯棒 组件 多晶 还原 | ||
【主权项】:
一种硅芯棒组件,用以设置在多晶硅还原炉中沉积多晶硅,其特征在于,该硅芯棒组件包括竖立安装的两根立棒和连接所述两根立棒的一根横棒,所述横棒的两端分别榫接在所述两根立棒的顶端。
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