[实用新型]层间偏移测量装置

摘要

本实用新型涉及一种层间偏移测量装置，其至少包含有：设于待测物上之对位靶标（10）、至少一测试探针（20）、一接地探针（30）、一输入电压（50）、一电压侦测模块（60）以及一显示模块（70），该对位靶标（10）设有与该待测物相对应之复数层体，各层体于该对位靶标处设有导电层（12），该对位靶标于导电层处设有至少一镀通孔以及一接地孔（137），该导电层系与该接地孔接触，而与该镀通孔隔离相对，该测试探针系可伸入接触对应之镀通孔，该接地探针系可伸入接触对应之接地孔，该电压侦测模块系与测试探针形成电性连接，该输入电压系与该接地探针形成电性连接，若其中有层体产生偏移，可由该电压侦测模块测得而将结果直接显示于显示模块上，以判断此待测物为良品或瑕疵品。

主权项

一种层间偏移测量装置，其特征在于：其至少包含有：一对位靶标（10），系设于待测物上，该对位靶标（10）设有与该待测物相对应之复数层体（11），各层体（11）于该对位靶标（10）处设有导电层（12），该对位靶标（10）于导电层（12）处设有至少一镀通孔以及一接地孔（137），该导电层（12）系与该接地孔（137）接触，而与该镀通孔隔离相对；至少一测试探针（20），该测试探针（20）系可伸入接触对应之镀通孔；一接地探针（30），该接地探针（30）系可伸入接触对应之接地孔（137）；一输入电压（50），系与该接地探针（30）连接；一电压侦测模块（60），系与测试探针（20）形成电性连接；以及一显示模块（70），系与该电压侦测模块（60）连接，可将电压侦测结果显示于该显示模块（70）上。