[实用新型]一种真空处理装置及其射频滤波器、射频滤波器盒有效
| 申请号： | 201220445178.3 | 申请日： | 2012-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN202771895U | 公开（公告）日： | 2013-03-06 |
| 发明（设计）人： | 倪图强;张亦涛;徐朝阳;陈妙娟 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01F17/04 | 分类号： | H01F17/04;H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种真空处理装置及其射频滤波器、射频滤波器盒，其中，所述真空处理装置包括一腔室，在腔室的下方包括一容纳有若干射频滤波器的射频滤波器盒，所述射频滤波器至少包括一圆环状铁氧体，所述铁氧体上缠绕有线圈。其中，所述若干射频滤波器两两重叠放置，在两个所述射频滤波器之间还放置有绝缘块，其中，所述绝缘块的两个表平面分别接触于该两个射频滤波器的一表平面。本实用新型提供能够极大地节省真空处理装置中的空间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 处理 装置 及其 射频 滤波器 | ||
【主权项】：
一种用于真空处理装置的射频滤波器，其中，所述真空处理装置包括一腔室，在腔室的下方包括一容纳有若干射频滤波器的射频滤波器盒，所述射频滤波器至少包括一圆环状铁氧体，所述铁氧体上缠绕有线圈，其特征在于：所述若干射频滤波器两两重叠放置，在两个所述射频滤波器之间还放置有绝缘块，其中，所述绝缘块的两个表平面分别接触于该两个射频滤波器的一表平面。
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