[实用新型]一种全自动上芯机的自动撑膜装置

摘要

本实用新型涉及一种全自动上芯机的自动撑膜装置，其特点在于包括饲服电机、X向运动机构、Y向运动机构、撑膜平台、气缸、撑膜环件、撑膜机件，其中Y向运动机构设置于X向运动机构上，并且X向运动机构、Y向运动机构分别各与一个饲服电机相传动连接；撑膜平台安装于Y向运动机构上；所述撑膜环件设置于撑膜平台上，撑膜平台的四周边角上分别各设置有一个气缸，撑膜机件的四周边角分别相对应地与各气缸相连接，撑膜环件的上部穿套于撑膜机件中。铺设在撑膜环件上的整张薄膜，能在全自动上芯机的协调统一控制下，利用X向运动机构、Y向运动机构带动，实现X向来回水平移动和Y向来回水平移动，以配合全自动上芯机吸取薄膜不同位置上的晶片。

主权项

一种全自动上芯机的自动撑膜装置，其特征在于：包括饲服电机(1)、X向运动机构(2)、Y向运动机构(3)、撑膜平台(4)、气缸(5)、撑膜环件(6)、撑膜机件(7)，其中Y向运动机构(3)设置于X向运动机构上，并且X向运动机构(2)、Y向运动机构(3)分别各与一个饲服电机(1)相传动连接；所述撑膜平台(2)安装于Y向运动机构(3)上；所述撑膜环件(6)设置于撑膜平台(4)上，所述撑膜平台(4)的四周边角上分别各设置有一个气缸(5)，所述撑膜机件(7)的四周边角分别相对应地与各气缸(5)相连接，所述撑膜环件(6)的上部穿套于撑膜机件(7)中。