[实用新型]一种大尺寸OLED蒸镀用掩模板组件有效
| 申请号： | 201220454410.X | 申请日： | 2012-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN202913044U | 公开（公告）日： | 2013-05-01 |
| 发明（设计）人： | 魏志凌;高小平;张炜平 | 申请（专利权）人： | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种大尺寸OLED蒸镀用掩模板组件，包括掩模外框、掩模部以及支撑部，其中，所述掩模部与和固定在所述掩模外框的所述支撑部连接；所述支撑部包括N大于等于2个支撑部单元；所述支撑部单元由所述支撑条构成，所述掩模部上有掩模开口，所述支撑部单元不会遮挡所述掩模开口，所述掩模开口构成所述掩模部上的掩模图案区。本专利提供的大尺寸OLED蒸镀用掩模板组件可以解决掩模主体板面产生下垂造成精度下降、良品率低等问题，以及对现有由多个掩模单元组装而成的掩模部出现的位置错动问题，有效的改善产品的精度、质量，并提高良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 oled 蒸镀用掩 模板 组件 | ||
【主权项】：
一种大尺寸OLED蒸镀用掩模板组件，包括掩模外框、掩模部以及掩模支撑部，其特征在于，所述掩模部与和固定在所述掩模外框的所述掩模支撑部连接；所述掩模支撑部包括N大于等于2个支撑部单元；所述支撑部单元由所述支撑条构成，所述掩模部上有掩模开口，所述支撑部单元不会遮挡所述掩模开口，所述开口构成掩模图案区。
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