[实用新型]基板两面自动检查机

摘要

本实用新型提供一种基板两面自动检查机，谋求基板表面自动检查机的小型化并谋求处理时间的缩短。将加载器、翻转吸附摄像台、卸载器沿着X轴方向配置成一列，并利用它们使检查对象基板在X轴方向上依次移动。翻转吸附摄像台将第一检查台上的基板翻转移动到第二检查台上，在基板被载置到第一检查台上的定时，对第一检查台和第二检查台上的基板同时进行拍摄，在去除了第二检查台上的基板之后，将第一检查台上的基板翻转移动到第二检查台上，在将下一个基板载置到第一检查台上的时刻同时进行拍摄。图像信息预先存储在暂存存储器中，在得到基板两面的图像信息的时刻，对该基板进行两面检查，并将其结果显示于显示部。

主权项

一种基板两面自动检查机，其特征在于， 该基板两面自动检查机包括： 用于载置基板的第一检查台和第二检查台； 用于对载置在所述第一检查台上的基板和载置在所述第二检查台上的基板进行拍摄的拍摄部； 用于将检查对象基板逐张地载置在所述第一检查台上的基板载置部； 用于将载置在所述第一检查台上的基板翻转移动到所述第二检查台上的翻转移动部； 用于将载置在所述第二检查台上的基板从所述第二检查台去除的基板去除部； 用于控制所述基板载置部、所述翻转移动部以及所述基板去除部而控制所述基板的移动定时、并且控制所述拍摄部的拍摄定时的控制部； 用于基于由所述拍摄部拍摄的所述检查对象基板的图像的信息进行该基板的检查的基板检查部。