[实用新型]带加热功能的真空装载腔

摘要

带加热功能的真空装载腔，主要解决现有同类产品结构复杂，不易控制，装调不便，系统产能不够高的技术问题。它主要由腔体组件、底部法兰组件、盖板及加热盘组件构成。本实用新型将加热盘和晶圆支架巧妙地组合在一起，只通过两种位置关系的变化，一种是上层晶圆在传片位置，层晶圆预热；另一种是上层晶圆冷却，下层晶圆传片，就使晶圆在真空装载腔内传输过程中进行预热和冷却。两层晶圆距离加热盘的距离不同，决定了下层加热，上层冷却。由于运动部件动作简单容易控制，装调方便。加热过程利用的晶圆在沉积薄膜时的等待时间和真空装载腔的抽真空与回填大气的时间，也就是说在不影响系统产能的情况下，增加了需要一定时间来完成的预热功能。具有结构合理，易于推广的特点。

主权项

带加热功能的真空装载腔，主要由腔体组件、底部法兰组件、盖板及加热盘组件构成，上述腔体组件包括：腔体、真空闸板阀和大气闸板阀，腔体由一块铝材加工而成，从上向下加工两个腔室，前后贯通加工出晶圆传输孔道，自下向上加工出共用真空室连通两个腔室，共用真空室与腔室相贯形成连通孔道，真空闸板阀和大气闸板阀分别安装在晶圆传输孔道两端，用O型圈密封；上述底部法兰组件包括：底部法兰、气体扩散器、真空计、真空角阀及真空管路，底部法兰一面为密封面，用O型圈密封于腔体底部的共用真空室的下方，使共用真空室密闭，底部法兰另一面开孔用螺钉分别连接气体扩散器、真空计、真空角阀、真空管路，同样使用O型圈密封，真空角阀通过真空管路连接至泵组，气体扩散器连接氮气管路，上述透明盖板用螺钉紧固在腔室上，由O型圈密封，其特征在于：上述加热盘组件由加热盘、晶圆支架、晶圆支架托盘、升降杆、升降机构、O型圈、冷却水道、端盖及波纹管组成，加热盘组件是加热系统的核心部件，加热盘用螺钉紧固在腔室底部，用O型圈密封，O型圈的槽开在腔室的底部，其下方加工冷却水道，冷却水道由腔体加工槽和端盖焊接而成，晶圆支架安装在晶圆支架托盘上，加热盘边缘设有缺口，使晶圆支架匹配晶圆的凸起部分能够落到加热盘的平面以下，晶圆支架固定在腔体的底部，移动部分通过升降杆穿过腔体连接到晶圆支架托盘的底部，波纹管用螺钉连接在升降杆的法兰和腔体底部，用O型圈密封。