[实用新型]柔性基材表面处理装置有效

专利信息
申请号: 201220510688.4 申请日: 2012-09-29
公开(公告)号: CN202965200U 公开(公告)日: 2013-06-05
发明(设计)人: 李章国;夏国涛;柳锡运;钟欣;江成军;余俊佼;胡健;杜圣峰 申请(专利权)人: 深圳南玻显示器件科技有限公司
主分类号: B29C59/12 分类号: B29C59/12
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 邓云鹏
地址: 518000 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 一种柔性基材表面处理装置,包括控制系统、电源、真空腔体、在真空腔体内相对设置的阴极板和阳极板以及传输装置,其中,控制系统控制电源的输出电压和输出电流,传输装置可携带柔性基材从阴极板及阳极板中间穿过;阴极板及阳极板上分别设有冷却水管,阴极板上设有与真空腔体连通的工艺气体管。利用粒子轰击产生的热量直接作用于柔性基材进行烘烤脱气,加快柔性基材表面吸附水的脱离,缩短了脱气时间的同时还增加了柔性基材膜的脱气效果,克服了传统的因使用辐射传递热能的方式而导致脱气效率低的问题。同时由于电子对柔性基材的轰击,使得柔性基材的有机聚合饱和共价键活化成单链不饱和共价键,改变了原柔性基材的表面特性。
搜索关键词: 柔性 基材 表面 处理 装置
【主权项】:
一种柔性基材表面处理装置,其特征在于,包括控制系统、电源、真空腔体、在所述真空腔体内相对设置的阴极板和阳极板以及传输装置,所述控制系统控制所述电源的输出电压和输出电流,所述传输装置可携带所述柔性基材从所述阴极板及所述阳极板中间穿过;所述阴极板及所述阳极板上分别设有冷却水管,所述阴极板上设有与所述真空腔体连通的工艺气体管。
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