[实用新型]单晶炉用温度过渡环有效
申请号: | 201220533280.9 | 申请日: | 2012-10-18 |
公开(公告)号: | CN202913083U | 公开(公告)日: | 2013-05-01 |
发明(设计)人: | 梁仁和;李宗仁;赵婷玮 | 申请(专利权)人: | 北京京仪世纪电子股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100079 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型涉及单晶炉用热系统,具体是在单晶炉热系统结构中加入了一个温度过渡环,它在整个热系统中放置于保温盖上部,厚度为10mm,温度过渡环的内径和高度在不影响硅单晶炉观察窗视线的情况下,内径越小越好,高度越高越好,但内径不能小于保温盖的内口径,高度不能高于硅单晶炉主室的上沿高度,通过加入温度过渡环,可以使处于保温盖以外的单晶棒的温度更加缓慢的下降,减小由于温度变化太大给单晶棒带来的热应力,提高单晶棒的质量和成品率。 | ||
搜索关键词: | 单晶炉用 温度 过渡 | ||
【主权项】:
一种单晶炉用温度过渡环,其特征是:所述温度过渡环厚度为10mm。
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