[实用新型]半导体制程装置

摘要

一种半导体制程装置，包含支撑架、门板机构、外壳、加热源总成、气体管线总成及自动门板致密机构，门板机构连接支撑架，带动支撑架移动；外壳具有开口，使支撑架进入/退出外壳，并与门板机构形成制程腔，自动门板致密机构包含气压/液压管线、制动器、导引装置、滑块及凸轮，凸轮设置于门板及外壳的侧边，且以相同水平设置，门板机构与外壳关闭时，制动器推动导引装置向上，进而推动滑块，使滑块的凹形处接触凸轮，使门板机构与外壳之间的间隙密合，避免外部空气渗入制程腔体造成扰流，使腔体内的制程气体分布更佳均匀，进而提升制程良率。

主权项

一种半导体制程装置，其特征在于，该装置包含：一支撑架，用以承载至少一半导体晶圆；一门板机构，与该支撑架连接，而能带动该支撑架移动；一外壳，具有一开口，使该支撑架能从该开口进入该外壳中，并在该支撑架能从该开口进入该外壳后，与该门板机构形成一制程腔，还包含一进气口以导入至少一制程气体；至少一加热源总成，装设于该外壳之中，至少设置于该支撑架的上方、下方或侧方；一气体管线总成，装设于外壳上，用以将该制程气体排出至外部；以及一自动门板致密机构，包含至少一气压/液压管线、至少一制动器、至少一导引装置、至少一滑块，以及多个凸轮，该至少一气压/液压管线、至少一制动器以及至少一导引装置装设于该门板机构的一门板上，该至少一气压/液压管线连接一外部气压/液压源或控制源，各该制动器与该至少一气压/液压管线以及该导引装置的其中之一连接，各该导引装置与该滑块的其中之一连接，所述滑块为一凹形，所述凸轮设置于该门板侧边及该外壳的侧边，且设置于该门板侧边及该外壳的侧边的所述凸轮设置为相同的水平，当该门板机构密闭后，所述制动器利用气压/液压引入的压力推动所述导引装置向上，进而推动所述滑块向上，使所述滑块的凹型处接触所述凸轮，从而使该门板与该外壳之间的间隙密合。