[实用新型]一种减压干燥装置有效
| 申请号： | 201220569368.6 | 申请日： | 2012-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN202860803U | 公开（公告）日： | 2013-04-10 |
| 发明（设计）人： | 周子卿;金基用;王涛;郑铁元;郭总杰;张振宇 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号： | B05D3/00 | 分类号： | B05D3/00;B05C13/02;B05C11/02 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;安利霞 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种减压干燥装置，包括第一盖体和用于与第一盖体相配合形成一用于放置待干燥基板的容纳空间的第二盖体，所述第二盖体上设有排气孔；所述第一盖体在朝向载物台的面上设有凸起。本实用新型将第一盖体朝向载物台的面上设有凸起，通过凸起来缩小待干燥基板和第一盖体之间的空间，从而增大待干燥基板和凸起位置处的第一盖体之间的压力，可以用于提高待干燥基板上任意位置的抽吸力。而且，本实用新型将该凸起设在距离第一盖体两端一定距离的位置，有利于增大待干燥基板中间区域的压力，从而提高了待干燥基板的进行干燥处理的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 减压 干燥 装置 | ||
【主权项】：
一种减压干燥装置，包括：第一盖体；第二盖体，用于与第一盖体相配合形成一用于放置待干燥基板的容纳空间，所述第二盖体上设有排气孔；载物台，设置在容纳空间中，用于承载待干燥基板；其特征在于，所述第一盖体在朝向载物台的面上设有凸起。
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