[实用新型]一种能够装卸的新型石墨沉积槽

摘要

本实用新型公开了一种能够装卸的新型石墨沉积槽，包括支撑装置以及设置在支撑装置内部的沉积槽，所述支撑装置包括若干个U型支撑架，U型支撑架串联为纵行结构，且U型支撑架的外部设置有两条平行的支撑棍，支撑棍与对应的U型支撑架的端头连接；沉积槽设置在U型支撑架内部，所述沉积槽包括依次连接为U型的底板、侧板以及顶板，且底板设置在U型支撑架的底部，侧板设置在U型支撑架的侧壁上，顶板设置在U型支撑架的开口端上，且底板和侧板上设置有气孔。该沉积槽采用支撑装置和几个独立的石墨挡板组合而成，石墨挡板可拆卸，节省了更换时间，大大降低了石墨沉积槽的使用和维护成本，且镀膜质量稳定。

主权项

一种能够装卸的新型石墨沉积槽，其特征在于：包括支撑装置以及设置在支撑装置内部的沉积槽，所述支撑装置包括若干个U型支撑架（7），U型支撑架（7）串联为纵行结构，且U型支撑架（7）的外部设置有两条平行的支撑棍（5），支撑棍（5）与对应的U型支撑架（7）的端头连接；沉积槽设置在U型支撑架（7）内部，所述沉积槽包括依次连接为U型的底板（6）、侧板（2）以及顶板（3），且底板（6）设置在U型支撑架（7）的底部，侧板（2）设置在U型支撑架（7）的侧壁上，顶板（3）设置在U型支撑架（7）的开口端上，且底板（6）和侧板（2）上设置有气孔（1）。