[实用新型]一种返工片清洗机有效
| 申请号： | 201220587829.2 | 申请日： | 2012-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN203265133U | 公开（公告）日： | 2013-11-06 |
| 发明（设计）人： | 孔建武;郭本远;韩宝蓉;黄良吉 | 申请（专利权）人： | 上海神舟新能源发展有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B13/00 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 林君如 |
| 地址： | 201112 上海市闵行*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种返工片清洗机，包括用于盛装清洗硅片的氢氟酸的槽体；用于卡设插有待清洗硅片的花篮，可在水平方向及竖直方向上运动的机械手；与机械手及槽体传感连接，控制机械手在水平方向及竖直方向上的运动轨迹及停留时间的清洗延时控制系统；用于放置清洗完成的硅片的操作台以及监控机械手的位置及动作，实现对机械手启动及停止的控制的安全保护系统。与现有技术相比，本实用新型全自动操作，只需在无酸环境中将插有硅片的花篮放入和取出机械手，消除了人生安全隐患，另外工作效率高，200片硅片返工只需要20分钟。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 返工 清洗 | ||
【主权项】：
一种返工片清洗机，其特征在于，该清洗机包括： 槽体：用于盛装清洗硅片的氢氟酸； 机械手：用于卡设插有待清洗硅片的花篮，可在水平方向及竖直方向上运动； 清洗延时控制系统：与机械手及槽体传感连接，控制机械手在水平方向及竖直方向上的运动轨迹及停留时间； 操作台：用于放置清洗完成的硅片； 安全保护系统：监控机械手的位置及动作，实现对机械手启动及停止的控制。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海神舟新能源发展有限公司，未经上海神舟新能源发展有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201220587829.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
