[实用新型]表面形貌测量仪

摘要

本实用新型专利涉及一种测量仪，尤其涉及一种表面形貌测量仪，主要用于对轮毂单元二维形貌的测量。仪器测量基座上部的右侧设有立柱导轨，立柱导轨上设有测量升降台，测量升降台通过Z向传动系统相升降，Z向传动系统的底部与Z向编码器相连接，测量升降台中设有X向高精度导轨，X向高精度导轨与电感传感器相滑动连接，电感传感器的外侧壁设有金钢石探针，测量升降台通过X向传动系统相水平位移，仪器测量基座上部的左侧设有多维工作台，多维工作台上设有旋转工作台，金钢石探针与旋转工作台相对应分布。表面形貌测量仪结构紧凑，使用效果好，提升产品质量，测量精度高。

主权项

一种表面形貌测量仪，其特征在于：包括仪器测量基座（1），所述的仪器测量基座（1）上部的右侧设有立柱导轨（2），所述的立柱导轨（2）上设有测量升降台（3），所述的测量升降台（3）通过Z向传动系统（4）相升降，所述的Z向传动系统（4）通过Z向电机（5）相传动，所述的Z向传动系统（4）的底部与Z向编码器（6）相连接，所述的测量升降台（3）中设有X向高精度导轨（7），所述的X向高精度导轨（7）与电感传感器（8）相滑动连接，所述的电感传感器（8）的外侧壁设有金钢石探针（9），所述的测量升降台（3）通过X向传动系统（10）相水平位移，所述的X向高精度导轨（7）的上方设有X向信号采集光栅（11）和传感器驱动箱（12），所述的仪器测量基座（1）上部的左侧设有多维工作台（13），所述的多维工作台（13）上设有旋转工作台（14），所述的金钢石探针（9）与旋转工作台（14）相对应分布，所述的传感器驱动箱（12）与显示器（15）相连接。