[实用新型]化学药液分配装置有效
| 申请号： | 201220602636.X | 申请日： | 2012-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN203013686U | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 王营营;何金群;初国超;裴立坤;贾星杰 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹 |
| 地址： | 100015 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体制造领域，具体涉及一种化学药液分配装置。该装置包括储存容器，其内部储存化学药液，其顶部设置有注液入口和回液入口，其底部设置有与循环泵的输入端连接的出液口；采样阀，其为三通阀，其输入端连接循环泵的输出端，采样端连接热水注入通道，输出端连接气动三通阀的输入端；气动三通阀，其第一输出端连接储存容器的回液入口，第二输出端连接工艺单元的输入端，工艺单元的输出端连接储存容器的回液入口。本实用新型的一种化学药液分配装置通过在工艺管路上设置热水注入通道，代替了现有技术中的在线加热机构以及纯水注入机构，将加热与纯水注入合二为一，简化了化学药液分配装置的结构，方便了操作，同时减少了控制点。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 药液 分配 装置 | ||
【主权项】：
一种化学药液分配装置，其特征在于，包括：储存容器（1），其内部储存化学药液，其顶部设置有注液入口和回液入口，其底部设置有与循环泵（2）的输入端连接的出液口；采样阀（12），其为三通阀，其输入端连接循环泵（2）的输出端，采样端连接热水注入通道（11），输出端连接气动三通阀（8）的输入端；气动三通阀（8），其第一输出端连接储存容器（1）的回液入口，第二输出端连接工艺单元（9）的输入端，所述工艺单元（9）的输出端连接所述储存容器（1）的回液入口。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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