[实用新型]一种高频炉用水冷坩埚有效

专利信息
申请号: 201220651970.4 申请日: 2012-12-03
公开(公告)号: CN202993824U 公开(公告)日: 2013-06-12
发明(设计)人: 徐大超;宋军;杨超;王武平 申请(专利权)人: 山东晶鑫晶体科技有限公司
主分类号: F27B14/10 分类号: F27B14/10;F27B14/06
代理公司: 淄博佳和专利代理事务所 37223 代理人: 孙爱华
地址: 255201 山东*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 一种高频炉用水冷坩埚,属于加热设备领域。包括埚体(1)和底座(2),埚体(1)为圆筒形,其特征在于:所述的埚体(1)包括多条铜方管(3),铜方管(3)纵向排布围成圆筒形,相邻的铜方管(3)之间焊接密封,所述的埚体(1)底部使用不锈钢法兰连接固定在底座(2)上。本实用新型受热均匀,传热效果好,生长出来的氧化铝多晶表面不存在棱,适合下游蓝宝石晶体行业使用。
搜索关键词: 一种 高频 水冷 坩埚
【主权项】:
一种高频炉用水冷坩埚,包括埚体(1)和底座(2),埚体(1)底部通过连接件与底座(2)固定连接,底座(2)设有冷却水管路进出口,其特征在于:所述的埚体(1)侧壁由多条纵向排布的铜方管(3)合围而成,相邻两铜方管(3)顶端相通,底端开口,与底座间形成一组冷却水回路。
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