[实用新型]一种高频炉用水冷坩埚有效
申请号: | 201220651970.4 | 申请日: | 2012-12-03 |
公开(公告)号: | CN202993824U | 公开(公告)日: | 2013-06-12 |
发明(设计)人: | 徐大超;宋军;杨超;王武平 | 申请(专利权)人: | 山东晶鑫晶体科技有限公司 |
主分类号: | F27B14/10 | 分类号: | F27B14/10;F27B14/06 |
代理公司: | 淄博佳和专利代理事务所 37223 | 代理人: | 孙爱华 |
地址: | 255201 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 一种高频炉用水冷坩埚,属于加热设备领域。包括埚体(1)和底座(2),埚体(1)为圆筒形,其特征在于:所述的埚体(1)包括多条铜方管(3),铜方管(3)纵向排布围成圆筒形,相邻的铜方管(3)之间焊接密封,所述的埚体(1)底部使用不锈钢法兰连接固定在底座(2)上。本实用新型受热均匀,传热效果好,生长出来的氧化铝多晶表面不存在棱,适合下游蓝宝石晶体行业使用。 | ||
搜索关键词: | 一种 高频 水冷 坩埚 | ||
【主权项】:
一种高频炉用水冷坩埚,包括埚体(1)和底座(2),埚体(1)底部通过连接件与底座(2)固定连接,底座(2)设有冷却水管路进出口,其特征在于:所述的埚体(1)侧壁由多条纵向排布的铜方管(3)合围而成,相邻两铜方管(3)顶端相通,底端开口,与底座间形成一组冷却水回路。
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