[实用新型]一种玻璃基板清洗单元有效
| 申请号： | 201220660038.8 | 申请日： | 2012-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN203030560U | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 黄兴成 | 申请（专利权）人： | 彩虹（佛山）平板显示有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 陆万寿 |
| 地址： | 528300 广东省佛*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及N2退火炉及快速退火前清洗机喷嘴的安装、排布方式，提供一种玻璃基板清洗单元，包括与传送入腔室内的玻璃基板相对设置的主清洗喷嘴和副清洗喷嘴，所述主清洗喷嘴排布于腔室的前段，副清洗喷嘴排布于腔室的后段，副清洗喷嘴的喷射出口方向与玻璃基板的传送方向之间的夹角小于90度，本实用新型采用主清洗喷嘴和副清洗喷嘴相结合的喷嘴安装排布方式，与现有仅仅包含与玻璃基板垂直的清洗喷嘴的清洗单元相比，通过在腔室后段增加设置副清洗喷嘴，增强了整个清洗单元对玻璃基板上较小颗粒的去除能力，阻止清洗掉的颗粒再次附着到玻璃基板上，同时使玻璃基板上的清洗废水流向与玻璃基板的流向相反，减少了颗粒进入相邻腔室的几率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 玻璃 清洗 单元 | ||
【主权项】：
一种玻璃基板清洗单元，其特征在于：包括与传送入腔室（1）内的玻璃基板（2）相对设置的主清洗喷嘴（3）和副清洗喷嘴（4），所述主清洗喷嘴（3）排布于腔室（1）的前段，副清洗喷嘴（4）排布于腔室（1）的后段，副清洗喷嘴（4）的喷射出口方向（5）与玻璃基板（2）的传送方向（6）之间的夹角a小于90度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于彩虹（佛山）平板显示有限公司，未经彩虹（佛山）平板显示有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201220660038.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：带接液功能的通风柜顶罩
- 下一篇：新型定位板
