[实用新型]单晶生长用石英安瓿内壁碳膜制备装置

摘要

本实用新型公开了一种单晶生长用石英安瓿内壁碳膜制备装置，该装置在石英安瓿的颈部设置安瓿支架，所述安瓿支架内设有通道；所述通道内设置导流管，所述导流管的一端插进所述石英安瓿的底部，所述导流管的另一端穿出所述安瓿支架与排气管相连接，所述排气管的另一端与真空泵连接；所述安瓿支架上还设有进气管，所述进气管内的碳膜裂解气体通过所述导流管与所述颈部之间的空隙进入所述石英安瓿；所述进气管和所述排气管上均设有流量计。通过在石英安瓿的颈部设置一个安瓿支架，并通过设置在进气管和排气管上的流量计实现石英安瓿内裂解气体的动态平衡，从而在石英安瓿内得到均匀的碳膜。

主权项

一种单晶生长用石英安瓿内壁碳膜制备装置，其特征在于，包括：在石英安瓿（1）的颈部（2）设置安瓿支架（4），所述安瓿支架（4）内设有通道；所述通道内设置导流管（3），所述导流管（3）的一端插进所述石英安瓿（1）的底部，所述导流管（3）的另一端穿出所述安瓿支架（4）与排气管（7）相连接，所述排气管（7）的另一端与真空泵连接；所述安瓿支架（4）上还设有进气管（8），所述进气管（8）内的碳膜裂解气体通过所述导流管（3）与所述颈部（2）之间的空隙进入所述石英安瓿（1）；所述进气管（8）和所述排气管（7）上均设有流量计。