[实用新型]高精度超大尺寸单面抛光机有效
申请号: | 201220675235.7 | 申请日: | 2012-12-10 |
公开(公告)号: | CN203003626U | 公开(公告)日: | 2013-06-19 |
发明(设计)人: | 张正钦;资朝红;黄震;陈志华;黄艳;李云江 | 申请(专利权)人: | 长沙永凯科技设备有限公司;湖南电子信息产业集团有限公司 |
主分类号: | B24B7/24 | 分类号: | B24B7/24 |
代理公司: | 南昌新天下专利商标代理有限公司 36115 | 代理人: | 谢德珍 |
地址: | 410000 湖南省*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 高精度超大尺寸单面抛光机,包括机座、固定在所述机座上的抛光机构和PLC控制器,所述抛光机构包括抛光盘和抛光液桶,所述抛光液桶通过导管连接至所述抛光盘的两侧,所述抛光盘安装在所述抛光机构的主轴承座上,所述抛光盘的表面粘贴有半导体晶片抛光布,所述PLC控制器通过导线管固定在所述机座的侧面并通过导线与其内部的各部分控制模块相连。本实用新型结构简单,维修方便,操作简单,能够对大尺寸FPD、LCD的玻璃基板做高精度的抛光加工,满足社会需求。 | ||
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【主权项】:
高精度超大尺寸单面抛光机,包括机座、固定在所述机座上的抛光机构和PLC控制器,其特征在于,所述抛光机构包括抛光盘和抛光液桶,所述抛光液桶通过导管连接至所述抛光盘的两侧,所述抛光盘安装在所述抛光机构的主轴承座上,所述抛光盘的表面粘贴有半导体晶片抛光布;所述PLC控制器通过导线管固定在所述机座的侧面并通过导线与其内部的各部分控制模块相连。
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