[实用新型]晶体管特性测试探针台及测试系统

摘要

一种晶体管特性测试探针台，包括底座、可导电的托盘、支架和接线柱。底座包括底座本体和与底座本体连接的支撑柱，托盘与底座本体连接；支架包括通过支撑柱与底座本体连接的支架本体和固定于支架本体上的第一和第二探针调节装置，接线柱包括分别固定于第一和第二探针调节装置上的第一和第二接线柱，晶体管特性测试仪的三个探针分别固定在托盘、第一和第二接线柱上。将待测晶片放置在托盘上，调节第一和第二探针调节装置，使固定在两个接线柱上的探针与待测的图形窗口接触，由于只需要调节两个接线柱上的探针与待测的图形窗口接触便可进行参数测试，操作简单、耗时少。此外，本实用新型还提供一种晶体管特性测试系统。

主权项

一种晶体管特性测试探针台，包括底座和支架，所述底座包括底座本体和固定于所述底座本体上的支撑柱；所述支架包括支架本体和固定于所述支架本体上的探针调节装置，所述支架本体通过所述支撑柱与所述底座本体固定连接；所述晶体管特性测试探针台还包括与所述底座本体连接的托盘和固定于所述探针调节装置上且可通过所述探针调节装置调整位置的接线柱；其特征在于，所述托盘为可导电的托盘；所述探针调节装置包括第一探针调节装置和第二探针调节装置，所述接线柱包括分别固定于所述第一探针调节装置和第二探针调节装置上的第一接线柱和第二接线柱；所述托盘、第一接线柱和第二接线柱分别与晶体管特性测试仪的三个探针连接。