[实用新型]定量加料装置、处理站和处理设备有效
| 申请号： | 201220713085.4 | 申请日： | 2012-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN203253420U | 公开（公告）日： | 2013-10-30 |
| 发明（设计）人： | 塔尼娅·维特曼;马蒂亚斯·尼泽;于尔根·施韦希肯迪克 | 申请（专利权）人： | 睿纳有限责任公司 |
| 主分类号： | B01J4/02 | 分类号： | B01J4/02;H01L21/306 |
| 代理公司： | 北京思益华伦专利代理事务所(普通合伙) 11418 | 代理人： | 李烨;赵飞 |
| 地址： | 德国居*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本实用新型涉及定量加料装置领域。尤其地，本实用新型涉及用于在对工件进行湿法化学处理的范围中使用的液态组分的定量加料装置领域，以及一种带有这种定量加料装置的处理设备。用于提供在对工件进行湿法化学处理的范围中使用的液态组分的根据本实用新型的定量加料装置包括带有入口和出口的储存器、至少一个通到储存器中的导入管道、用于储存器内含物的称重装置、设置在出口下游的流量测量装置、至少一个可控制的排出阀、以及导出管道，其中储存器具有用于压缩气体的入流口，并且出口设置在储存器的下部区域中。 | ||
| 搜索关键词： | 定量 加料 装置 处理 设备 | ||
【主权项】：
用于提供在对工件进行湿法化学处理的范围中使用的液态组分（F）的定量加料装置（1，1’），所述定量加料装置包括带有入口（3）和出口（4）的储存器（2）、至少一个通到所述储存器（2）中的导入管道（5）、以及至少一个可控制的排出阀（9）和导出管道（10，10’），其中所述储存器（2）具有用于压缩气体（G）的入流口（11），并且所述出口（4）设置在所述储存器（2）的下部区域（2’’）中，其特征在于，所述定量加料装置包括用于储存器内含物（F’）的称重装置（7）和设置在所述出口（4）下游的流量测量装置（8）。
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