[实用新型]一种用于触摸屏的ITO膜有效
| 申请号： | 201220718827.2 | 申请日： | 2012-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN203602703U | 公开（公告）日： | 2014-05-21 |
| 发明（设计）人： | 沈国阳 | 申请（专利权）人： | 南昌欧菲光科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/35 |
| 代理公司： | 南昌新天下专利商标代理有限公司 36115 | 代理人： | 施秀瑾 |
| 地址： | 330000 江西*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于触摸屏的ITO膜，属于电子屏幕的技术领域。该膜包括透明基体和镀覆在所述透明基体上的膜层，所述膜层包括自透明基体上表面依次向上排列的底层、中间层和第一面层。本实用新型率先采用真空磁控溅射法制备柔性ITO薄膜，通过磁控溅射将ITO薄膜沉积在柔性基体上，再通过贴合等技术至基体上。由此方法制备的ITO薄膜不仅附着力好，性能优异，而且有利于工业化连续生产，大大提高了生产效率，为工业化生产的首选。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 触摸屏 ito | ||
【主权项】：
一种用于触摸屏的ITO膜，该膜包括透明基体（1）和镀覆在所述透明基体上的膜层，其特征在于：所述膜层包括自透明基体（1）上表面依次向上排列的底层（2）、中间层（3）和第一面层（4），所述底层（2）为SiO2或Al2O3；所述中间层（3）为Si3N4或Nb2O5；所述第一面层（4）为ITO层。
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