[实用新型]一种异物检测装置有效
申请号: | 201220740727.X | 申请日: | 2012-12-28 |
公开(公告)号: | CN203083536U | 公开(公告)日: | 2013-07-24 |
发明(设计)人: | 张继凯;万冀豫;黎敏;姜晶晶 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
主分类号: | G01B11/28 | 分类号: | G01B11/28;G01B11/02 |
代理公司: | 北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙) 11270 | 代理人: | 蒋雅洁;程立民 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种异物检测装置,装置包括异物扫描区和异物确认区,在异物扫描区和异物确认区之间设有异物高度检测区;所述异物扫描区,用于通过扫描检测基板上的异物的坐标和面积;所述异物高度检测区,用于检测所述异物扫描区检测出来的异物的高度是否超过预设规格;所述异物确认区,用于对所述检测出来的异物的面积和高度进行确认,并存储相应异物的面积和高度的信息。通过本实用新型,实现对异物的面积和高度测量,避免对盒工艺中的数据线断开(DO)和数据线栅线短路(DGS)现象高发。 | ||
搜索关键词: | 一种 异物 检测 装置 | ||
【主权项】:
一种异物检测装置,包括异物扫描区和异物确认区,其特征在于,在所述异物扫描区和所述异物确认区之间设有异物高度检测区,所述异物扫描区,用于通过扫描检测基板上的异物的坐标和面积;所述异物高度检测区,用于检测所述异物扫描区检测出来的异物的高度是否超过预设规格;所述异物确认区,用于对所述检测出来的异物的面积和高度进行确认,并存储相应异物的面积和高度的信息。
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